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    2. 產品詳情
      • 產品名稱:傾斜樣品臺式單靶磁控鍍膜儀

      • 產品型號:CY-MSP180G-AR
      • 產品廠商:泰諾
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      本設備為傾斜樣品臺式單靶磁控鍍膜儀,樣品臺與靶面的角度可調,可用于制作特定生長角度的薄膜。設備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。
      詳情介紹:

      本設備為傾斜樣品臺式單靶磁控鍍膜儀,樣品臺與靶面的角度可調,可用于制作特定生長角度的薄膜。設備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。

      傾斜樣品臺式單靶磁控技術參數:

      CY-MSP180G-ARadjustable Angel rotate) 傾斜樣品臺式單靶磁控

      樣品臺

      尺寸

      φ60mm

      轉速

      轉速0-20rpm可調

      磁控濺射靶

      數量

      2” x1  

       

       

      真空腔體

      腔體尺寸

      φ180mm X 150mm

      觀察窗口

      全向可視

      腔體材料

      高純石英

      開啟方式

      頂蓋拆卸式

      下法蘭

      含有樣品臺傾斜機構及旋轉機構

      真空系統

      機械泵

      雙級旋片泵

      抽氣接口

      KF16

      分子泵

      渦輪分子泵

      抽氣接口

      KF40

      真空測量

      電阻規+電離規

      排氣接口

      KF40

      極限真空

      1.0E-3Pa

      供電電源

      AC 220V 50/60Hz

      抽氣速率

      前級泵 1.1L/s 分子泵:60L/S

      電源配置

      數量

      直流電源 x1

      *大輸出功率

      直流電源300W

       

      其他

      供電電壓

      AC220V,50Hz

      整機尺寸

      500mm X 320mm X6200mm

      整機功率

      2kW

       

       



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